一台EUV光刻机，每天竟然耗电大概3万度！台积电那么多台光刻机，每年要用掉将近200亿度电，光交电费就要200亿。为啥光刻机这么耗电？最关键的原因出在光源上面，EUV光刻机使用的是不是一般的光，而是极紫外光。这种光非常容易被吸收，连空气都不透光，所以整个生产环境必须抽成真空，而且还要使用功率极大的激光器才能够生成。

　　此外，设备中的极紫外光想要到达晶圆上面，还需要不断的修正光路方向，这就是大家经常会看到它们会不停的反射的原因。但每经过一次反射，就会有约30%的损耗，最终大约只有不到2%的光线到达晶圆。由于损耗太多，耗电量也就上去了。

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